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                超聲波掃描顯微鏡換能器與分辨率和穿透深度的關(guān)系

                更新時(shí)間:2024-03-04      點(diǎn)擊次數(shù):1427
                超聲波掃描顯微鏡換能器與分辨率和穿透深度的關(guān)系

                超聲波掃描顯微鏡對(duì)被測(cè)器件是有一定限制的,因?yàn)樗墓ぷ黝l率一般在5MHz~400MHz之間,安賽斯(中國(guó))有限公司引進(jìn)德國(guó)的超聲波掃描顯微鏡,其工作頻率可達(dá)550M。所以它在不同材料中,穿透深度是不同。一般有這樣的規(guī)律:頻率越高的超聲波,穿透性越差,但是分辨率高;頻率低的超聲波,穿透性好,但是分辨率有限

                穿透深度(與材料本身有關(guān)*穿透深度取決于被測(cè)物的彈性參數(shù)、信噪比及超聲掃描顯微鏡系統(tǒng)的工作頻率。被測(cè)物與耦合介質(zhì)之間較大的聲失配會(huì)降低穿透深度,但另一方面,高信噪比可以提 高穿透深度。在高聲阻抗的固體中超聲波的穿透深度與超聲波的頻率成反比。對(duì)于低聲阻抗的固體,橫波和縱波均可以用于內(nèi)部成像,因此在這種情況下穿透深度不 受頻率的限制。
                分辨率:取決于樣品和換能器的狀況,一般情況下可達(dá)到半波長(zhǎng)(λ/2)。

                頻率(MHz

                穿透深度*mm

                理論分辨率(μm

                焦距(mm

                5

                15,0

                300

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                10

                10,0

                150

                15

                15

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                100

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                25

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                60

                15

                30

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                50

                12

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                20

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                3,4

                20

                12

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                2,2

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                8

                 


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